单晶炉双驱感应加热数值模拟研究
摘要(Abstract):
为了得到足够大的纵向温度梯度,本文设计了双驱感应加热装置,采用ANSYS与ELTA模拟软件分别对石墨套筒的温度场与电压进行模拟研究.改变上下线圈高度比例、加热过程中的频率、电流以及石墨套筒的外径,从而确定最佳热场.模拟结果表明:双线圈高度比例与石墨套筒外径对电压有很大影响;增大感应加热的电流强度、频率,可以很明显提高加热速率.当石墨套筒外径为70 mm,双线圈高度比例为2∶1,电流强度分别为70,220 A,频率均为400 Hz时,其温度梯度满足热场要求.
关键词(KeyWords): 单晶炉;双驱;感应加热;数值模拟
基金项目(Foundation):
作者(Author): 蒙耀鑫;邢淑清;鲍鑫宇;麻永林;