摘要(Abstract)：
采用第一性原理计算方法对磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为进行了系统研究.结果表明:在全氢终止金刚石(001)表面上,磷原子不能够稳定吸附.当氢终止表面上出现1个、2个活性位时,磷原子可以在活性位处稳定吸附,吸附能为2. 8至4. 5 eV.分波态密度分析表明:磷原子吸附后,仍然有未成对电子,保持化学活性,有利于后续沉积粒子的吸附.当氢终止表面上出现3个活性位时,磷原子可以在活性位处吸附,并且可以在活性位之间迁移.迁移激活能小于1. 7 eV.综上所述,磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为与表面上活性位的数量和分布密切相关.
关键词(KeyWords)： 第一性原理;磷掺杂金刚石;迁移激活能;吸附和迁移
基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(51562031;61765012);; 内蒙古自治区自然科学基金资助项目(2014MS0516)
作者(Author): 刘学杰;曹晔;