07 稀土抛光粉沉降速度的研究

赵延;胡艳宏;崔凌霄;周薇;

• 1:内蒙古科技大学材料与冶金学院

• 2:包头天骄清美稀土抛光粉有限公司

• 3:包头稀土研究院

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摘要(Abstract)：

研究颗粒粒径、体系pH值、电解质、体系粘度、表面活性剂对稀土抛光粉颗粒在浆料中沉降速度的影响，结果表明沉降速度与粒径大小成正比；pH越高沉降速度越慢；浆料pH在8.0～8.5、黏度1 000～1 200 cps、使用阴离子表面活性剂可获得较慢沉降速度，EDTA-4Na可屏蔽Ca⁽²⁺⁾影响；使用聚丙烯酸钠、聚乙烯醇、EDTA-4Na配制质量分数为10%的固含量浆料静置5 h仍保持较高的浓度.

关键词(KeyWords)： 稀土;抛光粉;浆料;沉降速度

基金项目(Foundation): 内蒙古自治区科技重大专项基金资助项目(2019ZD023)

作者(Authors): 赵延;胡艳宏;崔凌霄;周薇;

DOI: 10.16559/j.cnki.2095-2295.2022.01.007

参考文献(References)：

• [1] 高玮.稀土抛光材料的技术与应用进展.第九届国际稀土开发与应用研讨会暨2019中国稀土学会学术年会摘要集[C].北京：中国稀土学会，2019,1. [2] 任鹏.3D玻璃抛光液的制备及其性能研究[J].化工设计通讯.2020,46(4):159. [3] 吴旭冉，贾志军，马洪运，等.电化学基础(Ⅲ)——双电层模型及其发展[J].储能科学与技术，2013,2(2):152. [4] 陈启元，王建立，李旺兴，等.分散剂对氧化铝悬浮液分散稳定性的影响[J].中国粉体技术，2008,14(6):33. [5] 崔正刚.表面活性剂、胶体与界面化学基础[M].北京：化学工业出版社，2013.40. [6] 李伟娟，周建伟，刘玉岭，等.磨料黏度对CMP抛光速率的影响及机理的研究[J].半导体技术.2011,36(9):664.